晶圓顯微鏡性能特點(diǎn):
1、可選購(gòu) 2000 萬(wàn)彩色數(shù)字成像系統(tǒng),采用進(jìn)口 SONY 一英寸全面幅芯片,分辨率 5440*3648,USB3.0 高速數(shù)據(jù)傳輸通信,細(xì)膩逼真的圖像畫(huà)質(zhì),良好的顏色還原性能,安裝方便
2、成像測(cè)量軟件:帶拍照、錄像、幾何測(cè)量、圖像拼接、景深拓展等功能,軟件界面簡(jiǎn)潔,容易上手
3、配置明暗場(chǎng)專用金相物鏡,成像效果更通透
4、粗微動(dòng)同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu),粗動(dòng)松緊可調(diào),帶限位鎖緊裝置,微動(dòng)格值:2μm
5、 可選購(gòu)進(jìn)口歐司朗照明光源, 顏色還原真實(shí),使用壽命長(zhǎng)
6、280mm×270mm 大平臺(tái),移動(dòng)范圍 204*204mm,適合放置大尺寸樣品
晶圓顯微鏡參數(shù):
1、鏡筒:鉸鏈?zhǔn)诫p目頭部,主機(jī)含三目鏡筒(T),30 度傾斜的鉸鏈?zhǔn)界R筒,瞳距調(diào)節(jié)范圍為 55-75mm。即使長(zhǎng)時(shí)間觀察,也能確保使用者操作舒適,無(wú)疲勞感
2. 、攝影時(shí) 100%分光,適合低照度成像
3.、大視野高眼點(diǎn)目鏡:WF10X(視場(chǎng)數(shù) 22mm,視度可調(diào)
4.、無(wú)限遠(yuǎn)明暗場(chǎng)平場(chǎng)消色差金相物鏡:
5X/0.12 工 作 距 離 :(Work distance):9.70mm
10X/0.25 工作距離(Work distance):9.30 mm
20X/0.40 工作距離(Work distance):7.20mm
50X/0.70 工作距離(Work distance):2.50mm
100X/0.85 工作距離(Work distance):0.80mm
5、轉(zhuǎn)換器:五孔明暗場(chǎng)專用轉(zhuǎn)換器
6、光學(xué)放大倍數(shù):50-1000 倍
7、工作臺(tái):三層機(jī)械移動(dòng)平臺(tái),硬膜涂層表面,防腐、耐磨;載物臺(tái)外形尺寸 280mm×270mm,移動(dòng)范圍 204mmX204mm
8、調(diào)焦:粗微動(dòng)同軸,升降范圍 22mm,微動(dòng)格值 0.0008mm,帶松緊和限位裝置
9、反射照明:采用進(jìn)口歐司朗大功率 50W 鹵素?zé)粽彰?,亮度可調(diào),帶偏振片,翻蓋式燈箱,更換燈泡方便安全;為操作者提供充足亮度,以滿足各種情況下的樣本觀察。帶可變光欄裝置、調(diào)中裝置,保 證視場(chǎng)照明均勻??膳淦庥^察裝置
10、濾色片:轉(zhuǎn)盤式濾色片座,方便快速切換不同顏色,調(diào)節(jié)方便
11、正交偏光裝置 :內(nèi)置式可切換偏光觀察裝置,起偏器可 360°旋轉(zhuǎn);偏光功能,對(duì)材料表面的雜散光可以起到過(guò)濾作用,避免雜散光對(duì)樣品細(xì)節(jié)的干擾,或者可以對(duì)晶體等有偏光特性的樣品進(jìn)行觀察
12、可選購(gòu) 2000 萬(wàn)彩色數(shù)字成像系統(tǒng),采用進(jìn)口 SONY 一英寸全面幅芯片,分辨率 5440*3648,USB3.0 高速數(shù)據(jù)傳輸通信,帶拍照、錄像、幾何測(cè)量、圖像拼接、景深拓展等功能,軟件界面簡(jiǎn)潔